lithographobjective 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

lithographobjective相关论文

光刻物镜压力双膜片轴向调节机构优化设计

针对光刻物镜对镜片间隔调节精度高、范围大的需求，提出一种利用气体压差提供驱动力的压力双膜片轴向调节机构。并对该轴向调节机构......

期刊

光学设计光刻物镜轴向调节机构双膜片气压 optical design lithograph objective axial adjusting mech

看过本文同时还关注